УДК 681.586: 681.335.2: 621.01: 621.38
Е.В. Шалобаев, канд. техн. наук, доц.,
Санкт-Петербургский
государственный институт точной механики и оптики (технический университет)
МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА И МЕХАТРОНИКА: ОСОБЕННОСТИ СООТНОШЕНИЯ МИКРО- И МАКРОУРОВНЕЙ
|
Дано сравнение концептуальных положений микросистемной техники и мехатроники как смежных областей науки и техники, проанализированы особенности реализации аналогичных идей на макро- и микроуровнях. Поставлен вопрос об упорядочении терминологии. |
Критерии отнесения объектов к МСТ
и МТ
Технология: организация и виды техпроцессов
Проблемы МСТ в связи с ее применением в МТ
Методологическая основа разработок
объектов МТ и МСТ
Введение
С середины девяностых годов в качестве наиболее часто используемого собирательного понятия для расширительного толкования направления, связанного с созданием микросистем, наряду с термином микросистемная техника (МСТ) используют такие понятия, как микросенсоры и активаторы, мехатроника, микромеханика, микроника, микромашины [1,2].
Термин МСТ утвердился в России в 1996 г. в связи с принятием "Перечня критических направлений Федерального уровня" [1], в Японии используется термин – микромашины, в Европе – микроника (поскольку этот же термин ранее использовался и для обозначения мехатроники, то еще раз видна необходимость их разделения). Необходимо пояснить, что мехатроника не тождественна МСТ и МСТ не выделялась из мехатроники. Однако как связаны между собой эти понятия, что понимается под указанными выше терминами, какие критерии используются, практически трудно разобраться, поскольку представления разных авторов достаточно противоречивы. Данная статья является попыткой провести определенную систематизацию в этом вопросе.
Определения направлений
Микросистемная техника (МСТ) и мехатроника (МТ) являются современными научно-техническими направлениями [1-4], которые зародились в конце XX века благодаря бурному развитию микроэлектроники [1-5].
Мехатроника является продуктом машиностроения, в частности станкостроения [4]. МТ – это область науки и техники, посвященная созданию и эксплуатации машин и систем с компьютерным управлением движением, которая базируется на знаниях в области механики, электроники и микропроцессорной техники, информатики и компьютерного управления движением машин и агрегатов. Таково определение Государственного образовательного стандарта в редакции 2000 г. [3].
Стало общепринятым считать, что термин мехатроника впервые был введен японской фирмой Yaskawa Electric в 1969 г. и запатентован в 1972 г. как торговая марка [3,6], хотя в работе [9] в качестве возможного автора указан Т. Мори — президент компании Saibi Electronics and Machineri. Бесспорно одно – родиной термина является Япония. В Европе для обозначения похожих концепций предлагался термин микроника, который не получил широкого распространения.
Во избежание недоразумений необходимо пояснить, что термин механотрон в электронной технике существовал с конца 40-х годов XX века и относился к электровакуумному прибору. Механотроны предназначались для преобразования механических величин (перемещений, усилий, ускорений, вибраций и т.п.) в электрические сигналы и использовались в качестве датчиков в измерительных устройствах [11], т.е. являлись сенсорами. Отсюда, по мнению автора, истоки попыток заменить термин мехатроника на якобы более благозвучный для русского языка – механотроника. Однако государственный стандарт узаконил термин мехатроника.
Микросистемная техника родилась на основе развития микротехнологий, создавших микроэлектронику [1,2]. МСТ – научно-техническое направление, целью которого является создание в ограниченном объеме твердого тела или на его поверхности микросистем. Микросистемы представляют собой упорядоченные композиции областей с заданным составом, структурой и геометрией, статическая и динамическая совокупность которых обеспечивает реализацию процессов генерации, преобразования и передачи энергии в интеграции с процессами восприятия, обработки, трансляции и хранения информации при выполнении запрограммированных операций и действий в требуемых условиях эксплуатации с заданными функциональными, энергетическими, временными и надежностными показателями.
Микросистемы могут обеспечивать выполнение всех перечисленных выше функций или части из них [2].
К. Петерсон (фирма IBM) в статье [12], опубликованной в 1982г., впервые [1,17] обратил внимание на уже состоявшееся появление новых научного и прикладного направлений, базирующихся на использовании приемов полупроводниковой микротехнологии и кремния (как материала) не в целях микроэлектроники.
По времени рассматриваемые направления зарождались в такой последовательности: первое – в начале 70-х, а второе – в начале 80-х годов уходящего века.
Важно отметить, что толчком для становления обоих направлений явились технические достижения, а не общие теоретические положения, как было в истории робототехники [8].
Из вышеизложенного можно сделать вывод, что МСТ – естественное продолжение микроэлектроники, технологии производства которой использованы для создания микромеханических и микроэлектромеханических систем и других систем, связанных функциональными связями, на основе объема твердого тела. Таким образом, МСТ отличается от микроэлектроники расширением предметной области и использованием в связи с этим новых технологий.
МТ же – логическое развитие электромеханики с использованием встроенных микропроцессоров, управляющих движением механизмов. В МТ объекты МСТ [10] могут применяться в качестве сенсоров и микропроцессоров. А, кроме того, активаторы в объектах МТ должны развивать довольно-таки ощутимые усилия.
Критерии отнесения объектов к МСТ и МТ
Здесь нужно бы остановиться на том, что очень часто злоупотребляют использованием приставки "микро-", например, для терминов типа микродатчик, микроконтроллер, микродвигатель. Часто оказывается, что приставка фиксирует наличие монокристалла или микропроцессора [11,12]. Габаритные размеры таких устройств вполне соответствуют макромиру и составляют десятки миллиметров, а масса — сотни грамм. При указанных массогабаритных параметрах такие изделия, как гироскопы, никто не называет микроприборами [16], это просто малогабаритные изделия. В настоящее время, например, к микрогироскопам относят объекты, у которых габаритные размеры – единицы миллиметров, а масса – единицы и десятки грамм [8]. В работе [7] для объектов МСТ предложен диапазон от микрометров до миллиметров.
Иногда по традиции микродвигателями называют двигатели мощностью менее 600 Вт и до десятых долей Вт [18]; кстати, последнее значение коррелирует с потребляемой мощностью микрогироскопов. Здесь будет нелишним отметить, что мехатронные модули (ММ) большинства легких транспортных средств (электровелосипеды, инвалидные коляски, роллеры) укладываются в интервал 150-500 Вт, но есть и исключения – ММ миниэлектромобилей – 2,5 кВт.
Размерный фактор
Фактор масштабирования отражает влияние размеров на свойства как материалов, так и получаемых из них элементов.
Так, в макромире отвод теплоты осуществляется в тело детали, а в микромире это явление приобретает большое значение, и термостойкость материала становится важной характеристикой, поскольку теплота отводится через сечение площадью, например, в 4-5 мкм2. Другой пример: тончайшие кремниевые пленки обладают более высокой прочностью, чем аналогичные металлические, более устойчивы к воздействию агрессивных сред и радиации.
Основные отличия рассматриваемых научно-технических направлений относятся именно к такому фактору, как масштабность, и к производственным факторам (материалоемкость и энергоемкость объектов [2]). Необходимо заметить, что на производство же самих объектов требуется немалое количество энергии.
Однако миниатюризация макрообъектов не обязательно должна привести к объекту МСТ, имеющему то же название (об этом речь пойдет ниже). Может измениться физика восприятия явления, например, как в случае гироскопа.
Для объектов МТ характерна внутренняя разноразмерность составляющих элементов, что отсутствует у объектов МСТ. Для последних характерен более высокий уровень интеграции составляющих частей в том смысле, что они могут быть выполнены по одной или нескольким микротехнологиям в монокристалле.
Технология: организация и виды техпроцессов
Сближает МСТ и МТ организация технологии, поскольку в машиностроении при крупносерийном и массовом производстве осуществляется групповой метод [16], а в микротехнологиях – аналогичный интегрально-групповой метод массового производства как элементов, так и систем [2].
Регулируемый микрорельеф поверхностей, способствующий упрочнению поверхностей, снижению трения, т.е. изменению физико-механических свойств материала [20], является, можно сказать, естественным движением технологии макродеталей в сторону микромира. В настоящее время область применения этой технологии расширяется за счет использования в качестве технологической среды сферических тел диаметром от 50 до 200 нм [21,22].
LIGA-технология включает в себя литографию, гальванопластику и прессование [2], широко используемые при производстве элементной базы МТ (оптические кодовые элементы [23]), при изготовлении форм, для производства деталей из пластмасс литьем под давлением [24]. Среди технологий, используемых в МТ, активно применяют лазерную обработку деталей, а в МСТ – лазерное осаждение из газовой фазы материалов [25].
Вариабильность технологий, применяемых для производства объектов МТ и МСТ, примерно одинакова и во многом определяется размерным фактором.
Предметная область МТ и МСТ
Микромеханика и микроэлектромеханика не просто базируются на технологиях, создавших микроэлектронику, а имеют и свои отличия, заключающиеся в том, что предметом проектирования является уже объемная трехмерная физическая структура [8, 13], что сближает их с объектами МТ. Микромеханика, истоком которой является микроэлектроника, коренным образом отличается от классической механики. Кроме того, миниатюризованные объекты механики и объекты микромеханики – предметы разного уровня. Отсюда и микромеханика, и микроэлектромеханика – естественная предметная область специалистов микроэлектроники, что не исключает, а предполагает привлечение специалистов-механиков для решения специфических задач.
Основными объектами МСТ, как это следует из работы [8], являются сенсорные и активаторные подсистемы автоматических систем управления, выполняемые в виде локальных или распределенных энергетических преобразователей, связанных информационно с вычислительной подсистемой. Для определенности необходимо уточнить, что все это объединено в единый физический объект.
Основным объектом мехатроники также является контрольно-управляемая система, включающая в себя аналогичные подсистемы, отличающиеся размерами и компоновкой.
Материаловедческая база
Использование адаптирующихся материалов (в частности, пьезокерамики [24], кварца) в качестве источников (автор участвовал в разработке линейного пьезодвигателя еще в конце 80-х годов) и элементов передачи движения также роднят материаловедческую базу МСТ и МТ. В МТ для опор применяется ситалл, а в МСТ – фотоситалл [25]. Правда, в этой области точки соприкосновения еще незначительны.
Естественно, что применение к материалам таких красочных названий, как "активно умные", "умная пыль", "умная поверхность", "умная структура", являющихся прямым переводом английских терминов типа "smart-systems", хотя и допустимо, но требует более четкого определения [8,14,25].
Проблемы МСТ в связи с ее применением в МТ
Применение МСТ в мехатронике охватывает как область электроники (точнее, микроэлектроники в виде микропроцессорной техники, на которой базируются контроллеры [28] – подсистемы обработки и выработки решения), так и область механики в виде микромеханических и микроэлектромеханических систем (в первую очередь датчиков давлений [14], акселерометров [15], деформаций [10]), из которых состоят подсистемы активаторов и сенсоров.
Характерной особенностью мехатронных устройств является высокая точность выполнения заданного движения, а точность объектов МСТ из-за их размеров на несколько порядков ниже, чем у макроаналогов [2,9,26].
Например, как уже было отмечено выше, микрообъект может вовсе не являться миниатюризированной копией макрообъекта. Так, микрогироскоп и классический гироскоп физически не похожи, хотя и используют одно физическое явление – закон Кориолиса.
Существует точка зрения, что отказ от классической схемы с вращающимся ротором не только устраняет наименее надежные узлы прибора, но и существенно упрощает конструкцию, позволяя эффективно использовать технологическую базу микроэлектроники [8,9]. Весь вопрос лишь в том, насколько удается увеличить точность микрогироскопов. В качестве достижений приводятся сведения о том, что на имитационном макете в ЦНИИМаш удалось получить порядка 200 угл.град/ч, а в планах московского АП "Вектор" – 0,1 угл.град/ч. Сообщается, что американская "Draper Laboratory" планирует выпуск ММГ с дрейфом менее 1 угл.град/ч. При этом делался вывод о том, что или ММГ вытесняет малогабаритные гироскопы, или ММГ будут использоваться в дешевых и грубых системах ориентации.
Современное решение проблемы прецизионной гироскопии было найдено на основе классического гироскопа со сферическим ротором за счет создания электростатического подвеса ротора с точностью 10-5 –10-3угл.град/ч [30-34] (почти 30 лет назад автор участвовал в разработке сферического гироскопа на аэростатическом подвесе, т.е. в направлении развития классической схемы, которая и дала на настоящее время максимальную точность).
Здесь необходимо разделить области применения в зависимости от времени работы и характера объекта. Для кратковременных процессов (секунды, минуты) и для таких объектов, как ракеты, снаряды, пули, применение ММГ с указанными точностями вполне возможно. Для самолетных и корабельных систем такие погрешности недопустимы. Однако сегодняшний недостаток ММГ можно скомпенсировать, применяя интеграцию микрогироскопов с приемниками глобальных спутниковых навигационных систем [30, 31]. На этом примере жизнь наглядно показывает, что для каждого изделия существует своя область применений, границы которой непрерывно изменяются, и в этом – диалектика развития науки и техники.
Кроме вышеизложенного, микромеханика не обеспечена стандартами. Так, при производстве зубчатых колес существующие ГОСТ распространяются на модули до 0,1 мм, а объекты МСТ имеют модули, достигающие, например, 38 мкм. Близкими к последним являются модули в 80 мкм, используемые в специальных часовых устройствах и в устройствах с шаговыми двигателями.
Методологическая основа разработок объектов МТ и МСТ
Мехатроника – это способ системного проектирования разнородных элементов (механических, электрических, электронных) [35]. Имеется в виду разнородность не только по значению и физическим свойствам, но и по масштабным характеристикам (микроразмеры объектов МСТ и макроконструкции механических устройств МТ). Считается, что основой проектирования объектов МТ является метод параллельного проектирования, в отличие от традиционной последовательной разработки объекта [2].
Сборка макросистем на основе применения элементной базы МСТ также имеет ряд специфических особенностей, свойственных именно микротехнологиям, например микрокорпусирование [14,25].
Трудности развития МСТ и МТ
Несмотря на очевидные преимущества, которые потенциально заложены в объектах МСТ и МТ, наличие действующих образцов многих типов пока еще не привело к широкому практическому использованию этих изделий.
Характерные причины, препятствующие развитию МСТ (технические, организационные и человеческие), вполне можно распространить и на МТ [13]. Рассмотрим эти причины.
¨ Недостаточность применяемых технологических приемов и материалов.
¨ Отсутствие специализированной базы, поскольку требуется универсализация производства. Традиционное микроэлектронное производство не может обеспечить выпуск объектов МСТ, так как на крупном предприятии с отлаженным массовым выпуском продукции внедрение дополнительных технологических операций и оборудования для изготовления относительно меньших объемов изделий нецелесообразно и нерентабельно, поскольку переналадка технологического оборудования и режимов может только расстроить основной техпроцесс. Реальность подобных опасений показала практика отечественных гибких производственных комплексов.
Правда, в области МТ есть и другие причины, например, социально-экономического характера. Это определенный кризис части промышленности ВПК, который привел к закрытию механических и электромеханических производств, потере высококвалифицированных кадров, что весьма важно при производстве прецизионной техники. Остроту положения может характеризовать тот факт, что, например, регистрирующий прибор приходится комплектовать механизмами, изготавливаемыми в Сибири.
Однако для средних и небольших производств, направление работы которых легко может перестраиваться, разработка объектов МТ является естественной сферой деятельности. Пример – успешная деятельность НПК "Оазис" (регистрирующие приборы, датчики), ЗАО "СКАЛА" (медицинская техника) в Санкт-Петербурге. На Западе во главе производства объектов МТ и МСТ стоят научно-производственные коллективы университетских научных центров. Та же картина наблюдается и в России при производстве объектов МСТ (Центр микротехнологий и диагностики при СПбГЭТУ "ЛЭТИ", лаборатория микротехники и микроэлектромеханических систем Центра наукоемкого инжиниринга СПбГТУ, фирмы "Элкус" и "Анком").
В работе [13] предложено для объединения усилий специалистов и производств организовать Санкт-Петербургский региональный центр микротехнологий на базе СПбГТУ в составе ряда вузов и НИИ с использованием таких предприятий, как "Авангард", "Светлана", "Ленинец", "Позитрон" и др. Однако наиболее реальные предпосылки для подобной интеграции создаются на базе ЦМТиД при СП6ГЭТУ "ЛЭТИ", многие годы эффективно действующего и имеющего современную технологическую базу. ЦМТиД, образовавшийся на базе кафедры микроэлектроники, уже реально собирает под свои знамена специалистов в области оптики и механики, активно сотрудничает со многими вузами Санкт-Петербурга, России, имеет долговременные и плодотворные международные связи.
¨ Недостаточность информации (только в 1999-2000 гг. появились трибуны всероссийского уровня – журналы "Микросистемотехника" и "Мехатроника"), психологический барьер (несовместимости макро- и микромиров у сегодняшних специалистов, которых обучали либо на макро-, либо на микрообъектах), отсутствие специалистов (специалисты в микроэлектронике еще не являются специалистами в МСТ, а специалисты в механике и электромеханике не являются специалистами в МТ) и достоверных сведений о достижениях (например, нет ответа на вопрос, каковы сроки работы и надежность, если изделие выполняется впервые).
Не менее важной и трудной для решения является проблема научно-технических связей между специалистами из различных областей знаний, обусловленная междисциплинарностью рассматриваемых направлений.
Несмотря на безусловную важность первых двух факторов, третий фактор является в настоящее время, пожалуй, самым главным.
Выводы
МСТ и МТ, оставаясь самостоятельными научно-техническими направлениями, тесно связаны в областях интеграции объекта в моноблоке или в монокристалле, элементной базы, системного подхода к проектированию разнородных элементов объекта, технологий и организационных основ производства, материаловедческой базы, генерации и преобразования энергии и информации, общего пути развития.
Именно на стыке этих направлений должны возникнуть новые приборы и устройства, решающие те задачи, которые до сих пор не решены.
Возможно, именно на стыке этих двух направлений появится новая область, обслуживаемая специалистами нового типа, которые хорошо знают как мехатронику, так и микросистемную технику и которые преодолеют психологический барьер несовместимости макро- и микромиров, имеющийся у сегодняшних специалистов, которых обучали либо на макро-, либо на микрообъектах.
* * *
Приведенные выше соображения, являясь сами по себе достаточно известными, имеют целью обрисовать взаимосвязь двух новейших научно-технических направлений, что и является целью данной статьи.
Список литературы
1. Лучинин В.В. Микросистемная техника. Направления и тенденции развития // Научное приборостроение. 1999. Т. 9. № 1. С. 3-18.
2. Северов Л.А., Понамарев В.К., Парфенов А.И. и др. Микромеханические гироскопы: конструкции, характеристики, технологии и пути развития // Известия вузов. Приборостроение. 1998. № 1-2. С. 57-73.
3. Васильев А.А., Лучинин В.В. Критическое направление: микросистемная техника – базис машин и технологий будущего // Конверсия в машиностроении. 1998. № 6. С. 17-20.
4. Климов Д.М., Васильев А.А., Лучинин В.В., Мальцев П.П. Перспективы развития микросистемной техники в XXI веке // Микросистемная техника. 1999. № 1. С. 3-6.
5. Подураев Ю.В., Кулешов B.C. Принципы построения и современные тенденции развития мехатронных систем // Мехатроника. 2000. № 1. С. 5-10.
6. Мехатроника: Пер. с яп. / Т. Исии, И. Симояма, Х. Иноуэ и др. М.: Мир, 1988. 318 с.
7. Аршанский М.М. Мехатроника. М.: МГАПИ, 1995. 84 с.
8. Подураев Ю.В. Основы мехатроники М.: МГТУ "Станкин", 2000. 120 с.
9. Парушев П., Kyлев П. Состояние и ближайшие перспективы развития мехатроники (болгарский опыт) пер. с англ. / Mechatronics. 1993. № 3. Р. 15-23.
10. Мехатроника: Недетерминировани мехатронни системи /П. Парушев, К. Георигиев, К. Костадинов и др. //Актуални проблеми на науката. Т. XVII. № 2-3. София: изд-во Болг. АН, 1990. 101 с.
11. Механотроны / Советский энциклопедический
словарь. М.: Сов.
энциклопедия, 1981. 808 с.
12. Peterson К. Silicon as a Mechanical Material Proceedings of the IEEE, v. 70, No 5, May 1982. P. 420-457.
13. Пятышев Е.Н., Лурье М.С. Микротехнологии и микроэлектромеханические системы – новое научно-техническое направление // Научно-технические ведомости СПбГТУ. 199. № 3. С. 101-112.
14. Сызранцев В.Н., Удовикин А.Ю., Добрынько А.В. и др. Измерения напряжений в зубьях колес цилиндрических передач с помощью датчиков деформаций интегрального типа // Вестник машиностроения. 1990. № 8. С. 27-30.
15. Бушев В.В., Николайчук О.Л., Стучебников В.М. Серия микроэлектронных датчиков давления МИДА // Датчики и системы. 2000. № 1. С. 21-27.
16. Распопова Н.М., Распопов В.Я. Импульсные гиромото-ры Теория и расчет. М.: НТЦ "Информтехника", 1998. 172 с.
17. Лурье М С., Пятышев Е.Н. Перспективы развития микротехнологий // Вестник машиностроения, 1999. №10.
18. Электромеханический привод. Выбор электродвигателя и кинематический расчет механизма на начальном этапе проектирования // Пластмассовые зубчатые колеса в механизмах приборов / Под ред. B.E Старжинского, Е.В. Шалобаева. СПб-Гомель: ИММС, 1998. 538 с.
19. Митрофанов С.П. Групповая технология машиностроительного производства. Л.: Машиностроение, 1983. 779 с.
20. Шнейдер Ю.Г. Образование регулярных микрорельефов на деталях и их эксплуатационные свойства. Л.: Машиностроение, 1972. 240 с.
21. Шалобаев Е.В., Ростовцев A.M. Новейшие технологии при изготовлении элементов прецизионных мехатронных устройств // Тезисы докладов НТК в 2-х ч. СПб.: ИТМО, 2000. Ч. 2. С. 53-54.
22. Добрусин A.M., Шалобаев Е.В. Создание регулярного микрорельефа для деталей сложной формы // Там же. 63 с.
23. Фотоэюктрические преобразователи информации / Л.Н. Преснухин, В.Ф. Шаньгин, С.А. Майоров, И.В. Меськин. М.: Машиностроение, 1974. 376 с.
24. Точные пластмассовые детали и технология их получения / B.E. Старжинский, А.М. Фаберов, С.С. Песецкий и др. Мн.: Навука i теэхiка, 1993. 307 с.
25. Лучинин В.В., Таиров Ю.М., Васильев А.А. Особенности материаловедческого и технологического базиса микросистем // Микросистемная техника. 1999. № 1. С. 7-11.
26. А.С. СССР № 1161739. Зубчатое колесо / К.И. Гуляев, В.М. Медунецкий, Е.В. Шалобаев // Бюллетень Изобретений. № 29. 1986.
27. Петров С.Ю., Квасников В.Я., Шалобаев Е.В., Ментюков A.M. Современные регистрирующие приборы (принципы построения) // Датчики и системы. 2000. № 4. С. 36-38.
28. Регистрирующие приборы, программируемые контроллеры, датчики: Справочное пособие / С.Ю. Петров, Шалобаев Е.В. Под ред. С.Ю. Петрова СПб.: ОАЗИС, 2000. 86 с.
29. Номенклатурный каталог научно-производственного комплекса "Оазис". СПб.: НПК "ОАЗИС", 1999. 20 с.
30. Пешехонов В.Г. Проблемы и перспективы современной гироскопии // Известия вузов. Приборостроение. 2000. № 1-2. С. 48-56.
31. Анучин О.Н., Емельянцев Г.И. Интегрированные системы ориентации и навигации для морских подвижных объектов / Под общ. ред. В.Г. Пешехонова. СПб.: ЦНИИ Электроприбор, 1999. 356 с.
32. Разработка и исследование микромеханического гироскопа / A.M. Лестев, И.В. Попова, Е.Н. Пятышев и др // Гироскопия и навигация. 1999. № 3.
33. Погалов А.И„ Тимошенков В.П., Тимошенков С.П., Чаплыгин Ю.А. Разработка микрогироскопов на основе структур кремния и стекла // Микросистемная техника. 1999. № 1. С. 36-40
34. Дятлов В.Л., Косцов Э.Г. Высокоэнергоемкие микродвигатели на основе тонких сегнетоэлектрических пленок // Микросистемная техника. 1999. № 1. С. 22-31.
35. Тимофеев Б.П. Проблемы в мехатронике // Тезисы докладов НТК. В 2-х ч. СПб.: ИТМО, 2000. Ч. 2. 48 с.
36. Тимофеев Б.П., Шалобаев Е.В., Егоров Б.А., Ефимен-ко В.Т. Адаптируемая биотехническая диагностическая система //Тезисы докладов НТК. В 2-х ч. СПб.: ИТМО, 2000. Ч. 2. 49 с.
37. Меськин И.В., Мальцев Л.Н., Шалобаев Е.В. Обзор состояния разработок топографических цифровых оптоэлек-тронных преобразователей перемещений // Известия вузов. Приборостроение. 2000. Т. 45. № 1-2. С. 44-49.
38. Меськин И.В, Шалобаев Е.В., Мальцев Л.Н., Жу-ков В.Л. Оптоэлектронные цифровые преобразователи перемещений – одно из средств автоматизации мехатронных устройств // Труды 1-й Международной конференции "Мехатроника и робототехника". СПб. 2000.
39. Интерфейсные устройства, платы, контроллеры и принадлежности индустриальных, бортовых и встроенных систем управления, контроля и сбора данных. Каталог электронной компании "ЭЛКУС" СПб.: ЗАО "ЭЛКУС", 1999. 64 с.
40. Старжинский
В.Е., Шалобаев Е.В. Проблемы применения микросистемной техники в прецизионных
устройствах мехатроники // Материалы 4-й Международной школы по точности им. И.Г. Фридлендера. СПб.: ИПМ РАН, 2000.
41. Vollath Н., Preib S., Hulsenberg D. Neue methoden zur Mikrostrukturierung
spezieller Glaser // 41 Internationalen Wissenschaftlichen Kolloquium/ Ilmenau:
Technische Universitat, 1996. Band 1. S. 47-52.
42. Salim R., Wurmus Н. Mikrotechmscher Greifer fur die Mikromontage
// 41 Internationalen Wissenschaftlichen Kollo-quium Ilmenau Technische Universitat,
1996. Band 1. S. 109-115.
43. Hesselbach J., Pittschellis R. Miniaturgreifer
fur die Mikromontage // 41 Internationalen Wissenschaftlichen Kol-loquium Ilmenau
Technische Universitat, 1996. Band 1. S. 115-121.
44. Hofmann D., Steike A., Schmidt A. Neue
Mikrosensoren fur die Mechatronik // 41 Internationalen Wissenschaftlichen Kolloquium
Ilmenau Technische Universitat, 1996. Band 2. S. 137-143.