Аннотация статьи

Номер 9 2018 год

DOI: 10.17587/nmst.20.521-527

Анализ ферромагнитных пленок с помощью системы исследования магнитооптического эффекта Керра и спектрального эллипсометра

Дедкова А.А., вед. инженер, e-mail: my_name9999@mail.ru, Киреев В.Ю., д-р техн. наук, ст. науч. сотр., вед. инженер, e-mail: valerikireev@mail.ru, Мазуркин Н.С., канд. техн. наук, вед. инженер, e-mail: edenlab@mail.ru, Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Москва

Проведены исследования образца ферромагнитной пленки Fe10Ni74Co16 толщиной 30 нм после ее осаждения и двух размагничивающих получасовых вакуумных отжигов при температурах 400 и 600 °С. Характеристики пленки, в том числе коэрцитивная сила и поле анизотропии, а также их изменения после отжигов определяли с помощью системы исследования магнитооптического эффекта Керра и спектрального эллипсометра. Показано, что сигнал спектрального эллипсометра Is реагирует на структуру пленки Fe10Ni74Co16, изменяющуюся при вакуумном отжиге. Причем изменение сигнала Is на длинах волн λ, равных 450 и 650 нм, практически в два раза больше, чем на длинах волн λ, равных 550 и 750 нм.

Ключевые слова: ферромагнитная пленка Fe10Ni74Co16, коэрцитивная сила, поле анизотропии, система исследования магнитооптического эффекта Керра, спектральный эллипсометр

Стр. 521 - 527