Введение в информационное обеспечение микросистемной техники
Микромеханические приборы
Микросистемная техника. Прикладные области применения
Расчет электромагнитных и температурных полей методом конечных элементов
Полупроводниковые сверхрешетки: свойства, применение
Микроактюаторы
Наноматериалы. Нанотехнологии. Наносистемная техника. Мировые достижения за 2005 год.
Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам.
Информация о выпускаемых журналах по НАНО тематике. (new!)
Организована постояннодействующая Международная научно-техническая конференция «Технология микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике» (new!)
Нанотехнологии в полупроводниковой электронике
Нанотехнологии в полупроводниковой электронике / Отв. редактор А.Л. Асеев. — Новосибирск: Издательство СО РАН, 2004.— 368 с.
В монографии представлены результаты работ ИФП СО РАН по развитию нанотехнологий и методов
диагностики для создания нового поколения устройств и приборов современной микро- и наноэлектроники.
Рассмотрены: технологии молекулярно-лучевой эпитаксии; методы наноструктурирования, позволяющие
создавать двух- и трехмерные наноструктуры различных форм и геометрии; современные методы диагностики
полупроводниковых наноструктур с атомным разрешением; результаты применения нанотехнологий для
изготовления устройств наноэлектроники.
Монография представляет интерес для специалистов в области физики полупроводников, физики и химии
твердого тела, микро- и наноэлектроники, нанотехнологии.
Утверждено к печати Ученым советом Института физики полупроводников СО РАН.
